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在精密機械加工過程中會有用許多設備，下面列舉了一些常用的機械設備：如線切割、放電加工機、深孔放電加工機、CNC光學投影研磨、工具磨床、NC無芯磨床、平面磨床、內徑外徑研磨、精密平面磨床、精密成形磨床、大水磨、NC銑床、磨床、加工中心、PVD鍍鈦機、激光焊接機、炭化水素清洗機、筒式研磨機、真空熱處理爐等等。
精密和超精密加工時現代機械加工制造技術的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業水平高低的重要指標之一。20世紀60年代以來，隨著計算機及信息技術的發展，對制造技術提出了更高的要求，不僅要求獲得極高的尺寸、形位精度，而且要求獲得極高的表面質量。正是在這樣的市場需求下，超精密加工技術得到了迅速的發展，各種工藝、新方法不斷涌現。CNC技術、材料技術、激光技術以及CAD技術等現代的科技成果，是現代先進機械加工技術的重要組成部分。如計算機用的磁鼓、磁盤及大功率激光用的金屬反光鏡等，比一般切削加工精度要高1~2個等級。例如用精密車削加工的液壓馬達轉子柱塞孔圓柱度為0.5~1μm，尺寸精度1~2μm；紅外反光鏡的表面粗糙度 Ra0.01~0.02μm，還具有較好的光學性質。從成本上 看，用精密切削加工的光學反射鏡，與過去用鍍鉻經磨削加工的產品相比，成本大約是后者的一半或幾分之一。 精密切削 但許多因素對精密切削的效果有影響，所以要達到預期的效果很不容易。