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微型機械在國外已受到政府部門、企業界、高等學校與研究機構的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學家在上世紀八十年代末提出'小機器、大機遇：關于新興領域--微動力學的報告'的國家建議書，聲稱'由于微動力學(微系統)在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面'，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，得到美國領導機構重視，連續大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研制'發現號微型'，美國國家科學會把MEMS作為一個新崛起的研究領域制定了資助微型電子機械系統的研究的計劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關鍵技術項目。美國研究計劃局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發。美國工業主要致力于傳感器、位移傳感器、應變儀和加速度表等傳感器有關領域的研究。很多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后，建立了1115m2研究開發MEMS的超凈實驗室。
金剛石刀具切削較硬的材料時磨損較快，如切削黑色金屬時磨損速度比切削銅快104倍，而且加工出的工件的表面粗糙度和 幾何形狀精度均不理想。 超精密磨削 但磨削加工后，被加工的表面在磨削力及磨削熱的作用下金相組織要發生變化，易產生加工硬化、淬火硬化、熱應力層、殘余應力層和磨削裂紋等缺陷。 超精密磨削 用修整過的砂輪在精密磨床上進行的微量磨削加工，金屬的去除量可在亞微米級甚至更小，可以達到很高的尺寸精度、形位精度和很低的表面粗糙度值。應用范圍廣泛，從軟金屬到淬火鋼、不銹鋼、高速鋼等難切削材料，及半導體、玻璃、陶瓷等硬脆非金屬材料，幾乎所有的材料都可利用磨削進行加工。 珩磨 用油石砂條組成的珩磨頭，在一定壓力下沿工件表面往復運動，加工后的表面粗糙度可達Ra0.4 ~0.1 μm，可到Ra0.025μm，主要用來 加工鑄鐵及鋼，不宜用來加工硬度小、韌性好的有色金屬。 精密研磨與拋光 通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。