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目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。
機械零件是由若干個表面組成的，研究零件表面的相對關系，必須確定一個基準，基準是零件上用來確定其它點、線、面的位置所依據的點、線、面。根據基準的不同功能，基準可分為設計基準和工藝基準兩類。設計基準　　在零件圖上用以確定其它點、線、面位置的基準，稱為設計基準。各外圓和內孔的設計基準是零件的軸心線，端面A是端面B、C的設計基準，內孔的軸線是外圓徑向跳動的基準。在精密機械加工過程中會有用許多設備，下面列舉了一些常用的機械設備：如線切割、放電加工機、深孔放電加工機、CNC光學投影研磨、工具磨床、NC無芯磨床、平面磨床、內徑外徑研磨、精密平面磨床、精密成形磨床、大水磨、NC銑床、磨床、加工中心、PVD鍍鈦機、激光焊接機、炭化水素清洗機、筒式研磨機、真空熱處理爐等等。