
日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃,研制兩臺樣機、進入人體進行診斷和微型手術,另一臺用于工業,對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。
歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資,德國自1988年開始微加工十年計劃項目,其科技部于1990~1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究,并把微系統列為本世紀初科技發展的重點,德國首創的LIGA工藝,為MEMS的發展提供了新的技術手段,并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS',聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作,1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。








砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對工件進行加工,屬于涂附磨具磨削加工的范疇,有生產率高、表面質量好、使用范圍廣等特點。國外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就,有了適應于不同場合的砂帶系列,生產出通用和專用的砂帶磨床,而且自動化程度不斷提高 已有全自動和自適應控制的砂帶磨床 ,但國內砂帶品種少,質量也有待提高,對機床還處于改造階段。 精密切削 也稱金剛石刀具切削 SPDT ,用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工,主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工

化學拋光 化學拋光是通過磷酸等氧化劑,在一定的條件下,使被加工的金屬表面氧化,使表面平整化和光澤化?;瘜W拋光設備簡單,可以加工各種形狀的工件,效率較高,加工的表面粗糙度一般為Ra≤0.2μm,但腐蝕液對人體和設備有損傷,污染環境,需妥善處理。主要用來對不銹鋼、銅、鋁及其合金的光亮修飾加工。 電化學拋光 電化學拋光是利用電化學反應去除切削加工所殘留的微觀不平度,以提高零件表面光亮度的方法。它比機械拋光具有較高的生產率和小的表面粗糙度:
