1959年,Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世,其后開發出尺寸為50~500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年,斯坦福大學研制出硅腦電極探針,后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60~12μm的利用硅微型靜電機,顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。


工藝基準 零件在加工和裝配過程中所使用的基準,稱為工藝基準。工藝基準按用途不同又分為裝配基準、測量基準及定位基準。
(1)裝配基準 裝配時用以確定零件在部件或產品中的位置的基準,稱為裝配基準。
(2)測量基準 用以檢驗已加工表面的尺寸及位置的基準,稱為測量基準。如圖32-2中的零件,內孔軸線是檢驗外圓徑向跳動的測量基準;表面A是檢驗長度L尺寸l和的測量基準。
(3)定位基準 加工時工件定位所用的基準,稱為定位基準。作為定位基準的表面(或線、點),在一道工序中只能選擇未加工的毛坯表面,這種定位表面稱粗基準.在以后的各個工序中就可采用已加工表面作為定位基準,這種定位表面稱精基準。


砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對工件進行加工,屬于涂附磨具磨削加工的范疇,有生產率高、表面質量好、使用范圍廣等特點。國外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就,有了適應于不同場合的砂帶系列,生產出通用和專用的砂帶磨床,而且自動化程度不斷提高 已有全自動和自適應控制的砂帶磨床 ,但國內砂帶品種少,質量也有待提高,對機床還處于改造階段。 精密切削 也稱金剛石刀具切削 SPDT ,用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工,主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工