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目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。
砂帶磨削 是用粘有磨料的混紡布為磨具對工件進行加工，屬于涂附磨具磨削加工的范疇，有生產率高、表面質量好、使用范圍廣等特點。國外在砂帶材料及制作工藝上取得了很大的成就，有了適應于不同場合的砂帶系列，生產出通用和專用的砂帶磨床，而且自動化程度不斷提高 已有全自動和自適應控制的砂帶磨床 ，但國內砂帶品種少，質量也有待提高，對機床還處于改造階段。 精密切削 也稱金剛石刀具切削 SPDT ，用高精密的機床和單晶金剛石刀具進行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工光整加工。光整加工后的工件。這個也是后一步，同樣非常的重要。主要表面的光整度的加工（如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滾壓加工等），應放在工藝路線后階段進行，加工后的表面光潔度必須要達到客戶的要求，一定要確保加工出來的精密零部件安放，爭取做到輕拿輕放，因為輕微的碰撞都會損壞表面，在光整加工后，都要用絨布進行保護，不準用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。