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加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工是在嚴格控制的環境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。

精密機械加工的工藝效果是：

①零件的幾何形狀和相互位置精度達到微米或角秒級；

②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;

③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;

④互配件能滿足配合力的要求；

⑤部分零件還能滿足準確的力學或其他物理特性要求。

日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃，研制兩臺樣機、進入人體進行診斷和微型手術，另一臺用于工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。

歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計劃項目，其科技部于1990～1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究，并把微系統列為本世紀初科技發展的重點，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS'，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。