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 1959年，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世，求購數控車加工，其后開發出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年，斯坦福大學研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。
機械制造技術從提高精度與生產率兩個方面同時迅速發展起來。在提高生產率方面，李滄數控車加工，提高自動化程度是各國致力發展的方向，近年來，從CNC到CIMS發展迅速，并且在一定范圍內得到了應用。從提高精度方面，供應數控車加工，從精密加工發展到超精密加工，這也是世界各主要發達國家致力發展的方向。隨著精密機械和電子技術的發展，現代產品越來越精密。
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