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獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和精準的控制系統，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，內圓磨加工原理，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，嶗山磨加工，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
我國精密和超精密加工發展策略我國精密和超精密加工經過數十年的努力，不銹鋼磨加工，日趨成熟。不論是精密機床、金剛石工具，還是精密加工工藝已形成了一整套完整的精密制造技術系統，為推動機械制造向更高層次發展奠定了基礎。正在向納米級精度或毫微米精度邁進，其前景十分令人鼓舞。隨著科學技術的飛速發展和市場競爭日益激烈?越來越多的制造業開始將大量的人力、財力和物力投入先進的制造技術和先進的制造模式的研究和實施策略之中。
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