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精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統、計算機控制以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻，并經適當處理以消除內部殘余應力，保證高度的尺寸穩定性，雙面磨加工，防止加工后發生變形。加工設備要有極高的運動精度，導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級，微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，不銹鋼磨加工，并采取有效的防振措施。加工系統的系統誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統和計算機控制等各種先進技術獲得的。
于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展，超精密加工機的需求急劇增加，在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，萊西磨加工，超精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，超精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，內圓磨加工原理，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。
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