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目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，外圓磨加工，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。
給驅動系統 一是依靠一定精度的機床來保證，內圓磨加工原理，即要求機床的精度高于工件所要求的精度，稱之為“蛻化”原則或“母性”原則。 二是在精度比工件要求低的機床上，加工出高精度的工件，萊西磨加工，利用在線檢測和誤差補償技術，可以實現這個目的。這就是所謂的“進化”原則或“創造性”原則。 超精密機床，都裝有雙頻激光隨機檢測系統和精密數控系統組成反饋閉環控制系統，以保證加工的尺寸精度。
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