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于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展，超精密加工機的需求急劇增加，在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設備的相關技術，李滄磨加工，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，超精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來，內圓磨加工原理，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。
在生產過程中，凡是改變生產對象的形狀、尺寸、位置和性質等，使其成為成品或者半成品的過程稱為工藝過程。它是生產過程的主要部分。工藝過程又可分為鑄造、鍛造、沖壓、焊接、機械加工、裝配等工藝過程，外圓磨加工，機械制造工藝過程一般是指零件的機械加工工藝過程和機器的裝配工藝過程的總和，內外圓磨加工，其他過程則稱為輔助過程，例如運輸、保管、動力供應、設備維修等。工藝過程又是由一個或若干個順序排列的工序組成的，一個工序由有若干個工步組成。
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