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日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃，研制兩臺樣機，一臺用于醫療、進入人體進行診斷和微型手術，另一臺用于工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。

歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計劃項目，精密機械加工中心，其科技部于1990～1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究，精密機械加工公司，并把微系統列為本世紀初科技發展的重點，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS'，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。

國家通過的《裝備制造業調整與振興規劃》，膠州精密機械加工，提出依托高速鐵路、煤礦與金屬礦采掘、基礎設施、科技重大專項等十大領域重點工程，振興裝備制造業;抓住九大產業重點項目，實施裝備自主化;提升四大配套產品制造水平。政策措施包括加強投資項目的設備采購管理、鼓勵使用國產首臺套裝備、推進企業兼并重組等。上述領域涉及了經濟建設中的關鍵部門，也是我國機械行業發展中亟待突破的領域，尤其是數控機床和礦用機械長期以來一直是我國制造領域的薄弱環節，與國外先進水平有明顯的差距。