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于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展，超精密加工機的需求急劇增加，在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，膠州磨加工，超精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備，許多公司，內外圓磨加工廠，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，內圓磨加工廠家，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來，雙面研磨加工，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。
超精密加工發展到今天，已經取得了重大進展，超精密加工已不再是一種孤立的加工方法和單純的工藝問題，而成為一項包含內容極其廣泛的系統工程。影響超精密加工精度的主要因素包括：超精密機床、超精密加工工具（刀具、磨具、磨料等）、超精密加工工藝、被加工材料、夾具、在線檢測與誤差補償、超精密加工環境（包括恒溫、隔振、潔凈控制等）。只有將各個領域的新技術成就集成起來，才有可能實現超精密加工。
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