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目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，磨加工廠，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。
精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環境等條件都有特殊的要求，內外圓磨加工廠，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統、計算機控制以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻，嶗山磨加工，并經適當處理以消除內部殘余應力，保證高度的尺寸穩定性，防止加工后發生變形。加工設備要有極高的運動精度，導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級，外圓磨加工，微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統的系統誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統和計算機控制等各種先進技術獲得的。
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