
日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃,研制兩臺樣機,一臺用于醫療、進入人體進行診斷和微型手術,嶗山鋸床下料加工,另一臺用于工業,對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。
歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資,德國自1988年開始微加工十年計劃項目,其科技部于1990~1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究,并把微系統列為本世紀初科技發展的重點,德國首創的LIGA工藝,為MEMS的發展提供了新的技術手段,并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS',數控鋸床下料加工 ,聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作,1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。








于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展,超精密加工機的需求急劇增加,在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期,超精密加工設備的相關技術,例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟,超精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備,許多公司,甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外,設備精度也逐漸接近納米級水平,圓鋼鋸床下料加工,加工行程變得更大,加工應用也逐漸增廣,哪里有鋸床下料加工,除了金剛石車床和超精密研磨外,超精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來,并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。

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