







金剛石刀具切削較硬的材料時磨損較快,精密機械加工,如切削黑色金屬時磨損速度比切削銅快104倍,而且加工出的工件的表面粗糙度和 幾何形狀精度均不理想。 超精密磨削 但磨削加工后,被加工的表面在磨削力及磨削熱的作用下金相組織要發生變化,易產生加工硬化、淬火硬化、熱應力層、殘余應力層和磨削裂紋等缺陷。 超精密磨削 用修整過的砂輪在精密磨床上進行的微量磨削加工,金屬的去除量可在亞微米級甚至更小,可以達到很高的尺寸精度、形位精度和很低的表面粗糙度值。

日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃,研制兩臺樣機、進入人體進行診斷和微型手術,另一臺用于工業,對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。
歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資,德國自1988年開始微加工十年計劃項目,精密機械加工圖片,其科技部于1990~1993年撥款4萬馬克支持'微系統計劃'研究,cnc精密機械加工價格,并把微系統列為本世紀初科技發展的重點,德國首創的LIGA工藝,為MEMS的發展提供了新的技術手段,并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的'微系統與技術'項目。歐共體組成'多功能微系統研究網絡NEXUS',聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作,1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量,一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。


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