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 1959年，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個硅微型壓力傳感器問世，精密機械加工零件，其后開發出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年，斯坦福大學研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動結構并與集成電路兼容以制造微小系統的潛力。
。 手工或機械拋光 手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，精密機械加工哪家好，與工件表面做相對運動，以實現對工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工。手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。 超聲波拋光 超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工，超聲拋光 設備簡單，操作、維修方便，工具可用較軟的材料制作，而且不需作復雜的運動，精密機械加工，主要用來加工硬脆材料，如不導電的非金屬材料，當加工導電的硬質金屬材料時，生產率較低。

加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工是在嚴格控制的環境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。

精密機械加工的工藝效果是：

①零件的幾何形狀和相互位置精度達到微米或角秒級；

②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;

③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;

④互配件能滿足配合力的要求；

⑤部分零件還能滿足準確的力學或其他物理特性要求。

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