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光整加工。光整加工后的工件。這個也是后一步，同樣非常的重要。主要表面的光整度的加工（如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滾壓加工等），應放在工藝路線后階段進行，加工后的表面光潔度必須要達到客戶的要求，一定要確保加工出來的精密零部件安放，爭取做到輕拿輕放，因為輕微的碰撞都會損壞表面，在光整加工后，精密機械加工設備，都要用絨布進行保護，不準用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。
微型機械在國外已受到政府部門、企業界、高等學校與研究機構的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford﹨AT&T的15名科學家在上世紀八十年代末提出'小機器、大機遇：關于新興領域--微動力學的報告'的國家建議書，聲稱'由于微動力學(微系統)在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面'，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，精密機械加工廠家，得到美國領導機構重視，連續大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研制'發現號微型'，美國國家科學會把MEMS作為一個新崛起的研究領域制定了資助微型電子機械系統的研究的計劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。把MEMS列為關鍵技術項目。美國研究計劃局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發。美國工業主要致力于傳感器、位移傳感器、應變儀和加速度表等傳感器有關領域的研究。很多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執行器中心(BSAC)得到和十幾家公司資助1500萬元后，建立了1115m2研究開發MEMS的超凈實驗室。
。 手工或機械拋光 手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現對工件表面的光整加工。加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工。手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。 超聲波拋光 超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工，超聲拋光 設備簡單，cnc精密機械加工價格，操作、維修方便，城陽精密機械加工，工具可用較軟的材料制作，而且不需作復雜的運動，主要用來加工硬脆材料，如不導電的非金屬材料，當加工導電的硬質金屬材料時，生產率較低。
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